Termen "rening" har en lång historia på kinesiska, som ursprungligen betyder "att göra rent och rent", och kan i stora drag syfta på alla processer och tekniker för att ta bort föroreningar och eliminera föroreningar. Motsvarande engelska termer inkluderar "rening" (som betonar renhet) och "ren" (understryker renlighet). Därför inkluderar det engelska uttrycket för renrumsteknik bland annat "Purification Engineering", "Clean Engineering" eller "Cleanroom Technology". Denna breda betydelse avgör att renrumsteknik har distinkta konnotationer inom olika discipliner.
Modern renrumsteknik, med renrumsteknik i centrum, har sitt ursprung på 1950-talet. Under Koreakriget upptäckte den amerikanska militären att många elektroniska instrument ofta inte fungerade på grund av dammintrång, vilket stimulerade utvecklingen av luftreningsteknik, särskilt forskning och tillämpning av högeffektiva partikelluftfilter (HEPA). År 1961 föreslog Willis Whitfield från Sandia National Laboratories ett "laminärt flöde" (nu officiellt kallat "enriktat flöde") för rent luftflöde, vilket gjorde det möjligt för renrum att uppnå oöverträffade nivåer av renlighet. Samma år släppte det amerikanska flygvapnet världens första renrumsstandard, och 1963 publicerades den amerikanska federala standarden FED-STD-209, vilket markerar den första bildandet av renrumstekniksystemet. Därefter, med den snabba utvecklingen av industrier som integrerade kretsar och biomedicin, har renrumsteknik kontinuerligt förnyats och utvecklats.
I Kina offentliggjordes "Cleanroom Design Code" (GBJ 73-84) 1984, och "Cleanroom Construction and Acceptance Code" (JGJ 71-90) offentliggjordes 1990. Efter flera revideringar har ett nationellt standardsystem med GB 50073-2013 "uträttats" för "Cleanroom Design Code". Internationellt sett är ISO 14644-serien av standarder, sammanställda av ISO/TC209 tekniska kommittén, de gemensamma riktlinjerna för renrum och relaterade kontrollerade miljöer. mitt land har antagit dessa standarder och implementerat dem som GB/T 25915-serien.